• *작성자 : FreeElectron
  • *내 용 : EUV 쓰루풋이 못따라가줘서 기존 광원 쓰면서 멀티패터닝으로 공정 줄여나갔는데 7nm부턴 EUV 사용할 것 같나보네요.
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