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출처

- (영어) http://egami.blog.so-net.ne.jp/2010-07-19-english

- (일어) http://egami.blog.so-net.ne.jp/2010-07-19

- (번역) http://translation.infoseek.co.jp/?ac=Web&lng=ko&token=2c0daf7e3536827cc23d84a9b95d5777908284ef&submit=&selector=1&dsp=1&web_translate_url=http%3A%2F%2Fegami.blog.so-net.ne.jp%2F2010-07-19

* 위 기계 번역본을 자연스럽게 수정하였습니다.

Panasonic 다층식 이미지 센서에 관한 특허

파나소닉이 3층식 이미지 센서에 관한 특허를 출원하고 있습니다. 지극히 고도의 색분리를 실현하고 있어 Live-MOS를 채용하는 디지탈카메라의 색재현성이 큰 폭으로 향상되겠지요.

• 특허 공개 번호2010-153658
  • 공개일2010/07/08
  • 출원일2008/12/25
• 광전 변환층을 수직에 적층한다
• 광전 변환층은, III족질화물 반도체층 AlxInyGazN(0<=x<=1, 0<=y<=1, 0<=z<=1, x+y+z=1) 에피층으로 구성된다
• 화소를 절연체로 가린다
  • 광전 변환층보다 낮은 굴절률
  • 클래드로서 작용해, 입사빛을 가두는 것이 가능
  • 료코 효율과 색분리 특성이 높다
• 이면 조사형을 채용
• 각 광전 변환층의 사이 로 분리층을 마련한다
  • 전기적으로 분리한다
• 구체적인 구성
  • 기판은 SOI(Silicon On Insulator)
  • 기판 상 로 분리층(AlN, 두께 100 nm)을 형성한다
  • 분리층 위에 적색 흡수층(In0. 95 Ga0. 05 N, 두께 1μm)를 형성한다
  • 적색 흡수층 상 로 분리층(AlN, 두께 100 nm)을 형성한다
  • 분리층 위에 녹색 흡수층(In0. 6 Ga0. 4 N, 두께 0.8μm)를 형성한다
  • 녹색 흡수층 상 로 분리층(AlGaN, 두께 100 nm)을 형성한다
  • 분리층 위에 녹색(← 주: 파란색 오타이지 않을까요?) 흡수층(In0. 25 Ga0. 75 N, 두께 500 nm)를 형성한다

기존의 다층식 촬상 소자에 관한 기술은 많은 문제를 떠안고 있었습니다. 색분리 성능이 나쁘고, 회로가 복잡하게 된다는 것입니다. 그러나 Panasonic의 특허라면, 그러한 문제를 해결 할 수 있다고 합니다.

이것으로 촬상 소자의 주요 메이커는 다층식 촬상 소자에 관한 특허를 획득하게 되는군요. 적어도 시그마(포비온), 캐논, 후지 필름, 소니, 일본 방송협회, 그리고 파나소닉는 그렇습니다. 도시바나 샤프, 달사와 코닥, 그리고 삼성 등은 확인되지 않았습니다.

그렇지만 대부분의 메이커는 탁상의 이론만으로, 실용화에는 이르고 있지 않습니다. 현재 상태로서는 Sigma의 SD 시리즈와 DP 시리즈가, Foveon 3층식 센서에 의해서 해상감과 깊이 있는 색으로 높은 평가를 얻고 있는 것으로 보여집니다. 또, Canon는 EOS 7D는 63 분할 듀얼 층 측광 센서를 채용하고 있습니다만, 이것은 본격적인 촬상 센서라고 보기는 어렵지요.